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四探針方阻電阻率測定儀

簡要描述:四探針方阻電阻率測定儀硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國標設計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

  • 更新時間:2025-02-10
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詳細介紹

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LST-331普通四探針方阻電阻率測試儀

 

一、四探針方阻電阻率測定儀描述:

采用范德堡測量原理能解決樣品幾何尺寸、邊界效應、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數據處理及數據分析.中文或英文語言版本.

四探針方阻電阻率測定儀參照標準:

硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國標設計制造GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

.適用范圍:

適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導體材料質量的工具;液晶顯示,自動測量和系數補償,并帶有溫度補償功能,自動轉換量程;采用芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數據,生成報表

用于:覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產品

.型號及參數

規格型model

LST-331

1.方塊電阻范圍

10^-52×10^5Ω/□

2.電阻率范圍 

10^-62×10^6Ω-cm

測試電流范圍

0.1μA ,1μA,10μA100µA,1mA,10mA,100mA

4.電流精度 

±0.1%

5.電阻精度

≤0.3%

6.顯示讀數

液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式

普通單電測量

8.工作電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W 

9.誤差

4%(標準樣片結果)

10.選購功能

選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻.

11.測試探頭

探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針

12.標準電阻(選購)

規格:1mΩ、10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ




















五、標準配置外訂購明細:

序號

型號

品名

單位

數量

備注

1

340-CSX

測試線

1


2

09A

標準電阻

1-5

選購規格和數量

3

06A

四探針測試平臺

1

含探頭1個

4

06B

四探針探頭

1

方型或直線型選購

5

340-TTZ

鍍金彈簧銅針4根

1

4根為一組

6

340-WTZ

彈簧鎢針4根

1

4根為一組

7

340-RJ

分析軟件

1


8

PC

電腦+打印機

1

依據客戶要求配置

9

300-JL

檢測技術服務

1

計量證書1份

10

WDCGQ

溫度傳感器

1

常溫-125度


331-YB

延保服務  

1-3


 


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